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製品紹介

カルレッツ®

カルレッツ®について

カルレッツ® パーフロロエラストマーは、米国デュポン社が開発した新しいエラストマー材料です。
このエラストマー材料は、テフロンフッ素樹脂のもつ優れた耐薬品性、従来のフッ素ゴムを上回る耐熱性を有し、さらにゴムの持つ弾力性を兼ね備えた画期的な製品です。

カルレッツ®パーフロロエラストマーとは

高温でもゴムの特性を失わず、耐薬品性をもった合成ゴムです。
エラストマーの弾力性とシール特性、テフロンの耐薬品性・熱安定性をもった画期的なエストラマー素材がデュポン社によって開発されました。
それがカルレッツです。
真空下でもガス発生が少なく、エーテル、ケトン、アミン、酸化剤など、さまざまな薬品に対して耐久性を発揮、さらに腐食性流体と接触した状態での超高温使用でもそのゴムの特性を失いません。
そのため、半導体製造、化学薬品輸送機器、原子力、航空機関連、エネルギーなどの分野で広く活用されています。

カルレッツ®パーフロロエラストマーの特性

カルレッツ パーフロロエラストマーの耐久性は、従来のフッ素ゴムでは使用が難しいかったエーテル類、アミン類、ケトン類、酸化剤、有機溶剤、燃料、酸、アルカリなど、ほとんどの薬品に対して安全性を示し、耐熱性(JISK6301などの圧縮水久ひずみ試験の結果に基づく)においては、300度近くの高温にもゴムとしての物性を物性を保ちます。
このシール材は、テフロン(この名称もデュポン社の商品名です。)-4ふっ化エチレン樹脂のもつ優れた耐薬品性とふっ化エチレン樹脂及び従来のフッ素ゴムを上回る耐熱性(300℃近くの高温でもゴムとしての物性を保ちます。)をもっています。このため従来使用が難しかった部位での使用も可能になり、度重なるシールの破損によるメンテナンスから解放されます。
また、デュポン社という高い安全性と信頼性もあり、求められるシーンは多くあります。
そのため、カルレッツ®部品は、シールの破損による生産ライン全体の中断を最小限に抑え、メンテナンスの費用を大幅に削減できる製品です。

カルレッツ®の利点

  1. メンテナンスコストの減少。
  2. プロセスストップ時間の減少。
  3. より単純化されたシールデザイン。
  4. より高い安全性と信頼性の確保。
  5. 他のシール材では不可能なところでも使用可能。

カルレッツ®製品のラインナップ

8002 硬さ (ショアA) 69
耐熱目安 (℃) 275
8002
充填材を一切含まず、プラズマ照射時にパーティクルの発生がほとんど無い材質。耐熱性にも優れている。あらゆる種類のプラズマに対して、耐プラズマ性および、耐熱性に優れた材質。
4079 硬さ (ショアA) 75
耐熱目安 (℃) 316
4079
強酸、有機酸を含む一般耐薬品性に優れたカルレッツ®の標準材質。高温使用時における圧縮永久歪みが最も優れる。アミン類には要注意。熱サイクルでの使用は280°Cが望ましい。
8475 硬さ (ショアA) 60**
耐熱目安 (℃) 300
8475
耐熱性、低放出ガス特性に優れた材質。拡散炉、LD-CVD等の耐熱用途に実績がある。
8575 硬さ (ショアA) 62**
耐熱目安 (℃) 300
8575
耐プラズマ性に優れており、カルレッツ®白色材質の中でプラズマエッチング等に最も実績がある材質。
9100 硬さ (ショアA) 74
耐熱目安 (℃) 300
9100
フッ素系・酸素系プラズマ両者の耐プラズマ性能を保有し、非常に優れた低パティクル・放出ガス特性をもっている。固定部・稼動部に関わらず、優れた機械特性とシール性能を示す。
9300 硬さ (ショアA) 74
耐熱目安 (℃) 300
9300
酸素/フッ素プラズマ及びエッチングプロセスに対し非常に優れた耐性を示す。
9500 硬さ (ショアA) 75
耐熱目安 (℃) 310
9500
SACVD、アッシングプロセスガス(オゾン、アンモニア、水蒸気)に対し、非常に優れた耐性を示す。
6005 硬さ (ショアA) 73
耐熱目安 (℃) 275
6005
酸素単体、酸素+フッ素混合のラジカルプラズマ下でのクラック耐性に優れたエッチャー/アッシャーに最適な材質。
7075 硬さ (ショアA) 75
耐熱目安 (℃) 327
7075
最高の耐熱目安と、低温域での優れた圧縮永久歪特性をかねそなえた、画期的な材質。
1050
LF
硬さ (ショアA) 82
耐熱目安 (℃) 288
1050LF
アミン類に対して適切な材質で一般的な耐薬品性に優れている。200°C以上の熱水/水蒸気の雰囲気には注意。
8900 硬さ (ショアA) 83
耐熱目安 (℃) 325
9500
耐熱性、低放出ガス特性に優れた黒のカルレッツ®材質。高温プロセスでのシール性、機械特性も優れている。
6375
UP
硬さ (ショアA) 75
耐熱目安 (℃) 275
6375UP
アミン類に対して最適の材質で、幅広い腐食性流体に対して耐薬品性が優れた材質。抽出物が非常に少なく、ウェット用途に適している。
*JIS6253のスラブによるテストJIS
**ASTM D2240ペレットによるテスト


カルレッツ®の耐熱特性

カルレッツ®以外のエラストマーでは、フッ素ゴム、シリコンゴム、他社製パーフロロエラストマーなどが比較的耐熱温度が高く約200°Cまでの温度に用いられますが、200°C以上の温度に対してはカルレッツ®のみが使用可能の実績があります。材質カルレッツ®8900はカルレッツ®の各種グレードの中で最も耐熱温度の高いタイプ、カルレッツ®8475は白色で熱線(赤外線)の吸収が少なく、シール特性、放出ガス特性を向上したタイプ、カルレッツ®8002は充填剤の入っていないノンフィラータイプ、カルレッツ®8575は耐プラズマ性も兼ね備えたタイプ、カルレッツ®4079は約30年の実績を持つ耐熱材料です。
尚、カルレッツ®と他社製パーフロロエラストマとの耐熱特性について比較したデータは次のとおりです。

カルレッツ®の耐熱グレードの耐熱特性は次のとおりです。
材質 耐熱温度(°C) 圧縮永久歪み(%)
204°C、70時間
Kalrez®8900 325 14*
Kalrez®7075 327 15
Kalrez®4079 316 25
Kalrez®1050LF 288 35
Kalrez®8475 300 23*
Kalrez®8002 275 15*
Kalrez®9100 300 17
*AS568A、2140リングのテストによるデータ